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磁控濺射組件

我們可為客戶提供定制化的平面靶、旋轉(zhuǎn)靶、圓盤靶等各種類型的磁控濺射組件,適用于不同的PVD濺射靶材料和形狀。我們具有先進的精密加工能力,可加工各種材料的配套零件,并進行整體裝配與清洗。我們還可對組件進行水壓、絕緣、氣密等測試,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能符合客戶要求。

 

我們的產(chǎn)品還具有以下特點和優(yōu)勢:

??高效率:磁鋼采用先進的磁材控制技術(shù),提升工作磁場的一致性,實現(xiàn)高效的濺射過程,提高涂層制備效率與靶材利用率。

??高質(zhì)量:我們的產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)的材料和先進的制造工藝,可以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

??可靠性:我們的產(chǎn)品具有穩(wěn)定性和可靠性,可長期穩(wěn)定運行,保證涂層質(zhì)量和制備效率。

??靈活性:我們可以為客戶提供定制化的產(chǎn)品,可根據(jù)客戶的需求進行設(shè)計和制造,以滿足不同的涂層制備需求。

??專業(yè)團隊:我們擁有專業(yè)的技術(shù)團隊,具有豐富的經(jīng)驗和技術(shù)能力,可為客戶提供全方位的技術(shù)支持和服務(wù)。

 

我們的磁控濺射組件可應(yīng)用于光電子、半導(dǎo)體、表面處理等領(lǐng)域,滿足客戶在高端涂層制備和研究領(lǐng)域的需求,是客戶信賴的合作伙伴。


產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品關(guān)鍵詞

零部件

燒結(jié)釹鐵硼方塊磁鋼產(chǎn)品

磁鋼

磁鋼是磁控濺射組件的關(guān)鍵零部件,磁鋼的磁路排布與磁場一致性直接影響最終的濺射效果。由于工作過程電子輝光放電發(fā)熱,磁鋼還需要具備一定的耐溫性能。

磁控濺射磁組件的金屬零部件

機加工件

磁控濺射組件的機加工件一般為底座、極靴、罩殼、連接件等部分,材質(zhì)為低碳鋼、不銹鋼、銅、鋁、尼龍等,水冷環(huán)境條件下,鐵質(zhì)部件還需做電鍍防護處理。

若干橡膠圓環(huán),用于磁控濺射磁組件的密封配件

密封件

密封件起著密閉組件腔體,防止漏氣漏水的重要作用。我們通常選用進口優(yōu)質(zhì)工業(yè)用密封圈,可長期穩(wěn)定使用。

若干螺絲組合照片,用于磁控濺射磁組件的緊固配件

緊固件

緊固件為各類型螺絲螺母、定位銷、墊片、擋圈等,根據(jù)裝配需要會作表面硬化處理。

組裝與檢測

按照標準作業(yè)流程,將各個零部件組裝成為整體,之后根據(jù)使用工況要求,進行外觀、表面磁場、氦檢、水壓、絕緣等多種檢測。

磁顯片放置在磁鋼軌道上顯示磁場分布,體現(xiàn)上海駿材在磁控濺射組件領(lǐng)域的工程技術(shù)能力
工程師在銅板上安裝橡膠條,體現(xiàn)上海駿材在磁控濺射組件領(lǐng)域的工程技術(shù)能力
電筆在銅板上測量,體現(xiàn)上海駿材在磁控濺射組件領(lǐng)域的工程技術(shù)能力

我們可按照客戶對磁控濺射組件產(chǎn)品的要求,從咨詢,設(shè)計,打樣到批量生產(chǎn),提供全流程定制化服務(wù)。


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